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02
  • 實驗室固定式面阻測量儀

  • Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。
  • 02
產品描述
圖片
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簡介


Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

 

規格參數


測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

平臺尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他規格請聯系)

面阻范圍: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

設備尺寸:11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

 

 

功能圖解


 

 

 

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Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

 

測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

平臺尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他規格請聯系)

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